一、常见故障及排查

 

　　1.本底噪声过高：表现为基线信号持续偏高或波动大，易掩盖真实漏点。排查时需先检查真空系统密封性（如法兰、阀门是否漏气），清洁质谱室及离子源；若使用吸枪法，需确认吸枪管路无折痕或堵塞，避免环境氦气干扰。

 

　　2.灵敏度下降：可能因质谱管老化、电子倍增器增益降低或校准偏差导致?？赏ü曜悸┛籽橹ち槊舳?，若偏离标称值，需更换部件或重新校准；同时检查真空泵油位与污染情况，确保真空度达标（通常需≤10??Pa）。

 

　　3.响应速度慢：多因管路过长、内径过小或阀门动作延迟。优化管路布局（缩短长度、增大管径），检查电磁阀/气动阀的驱动气压是否正常（一般0.4-0.6MPa）；若为吸枪模式，需控制吸枪移动速度与距离。

 

　　4.误报漏点：可能源于外部氦气残留（如被测件未充分放气）、交叉污染（前次检测的高浓度样品未清除）或软件阈值设置过低。需延长预抽时间，规范操作流程（如检测后对被测件吹扫），并调整报警阈值至合理范围。

 

　　二、科学维护保养要点

 

　　1.日常维护：每日开机前检查真空泵油位与颜色（浑浊需更换），清洁设备表面及采样口；运行中监测真空度、本底值与温度，异常时及时?；?/div>